在这个过程中,膜厚仪显示的实时蒸镀速率都是在±0.01埃每秒之间来回跳动,波动幅度不大。
这主要是因为金的密度比较大,在膜厚仪通过晶振片上的电信号换算蒸镀速率时,密度是在分母上的,所以气流扰动等造成的误差就会变小。
在15安培的时候,许秋把电流稳定住,并停留了几分钟。
这一步是习惯使然,目的是预热,把钨丝和靶材的温度先往上提一提。
在蒸镀铝的时候这一步非常有用,一方面可以防止蒸镀速率不受控制,另一方面如果不进行预热,可能会导致挂在螺旋状的钨丝上的铝条掉落,甚至钨丝直接熔断,导致实验失败。
虽然蒸镀金、银的时候用的不是螺旋状的钨丝而是钨篓,但小心一些总没有坏处。
许秋继续提高电流,直至17.5安培的时候,蒸镀速率从±0.01埃每秒开始0.01、0.01的往上跳动,同时电流值也开始波动,表明金靶材已经开始熔化。
等了几秒钟,蒸镀速率达到0.10埃每秒附近,渐渐稳定了下来。
许秋没有犹豫,直接同时按下膜厚仪清零按钮和样品挡板按钮,开始蒸镀。
然后,他一只手操作电流控制旋钮,一只手放在样品挡板上,眼睛则时刻盯着蒸镀速率和膜厚,打算随时停止,毕竟要蒸镀1纳米的金,只有10埃而已。
“许秋,不需要继续提升蒸镀速率吗?刚才不是说要把速率调到0.2埃每秒吗?”莫文琳好奇问道,她进课题组一个多月了,但从来没有蒸镀过金电极,平常接触到的电极材料要么是铝,要么是银。
这是因为有机光伏领域三氧化钼传输层的器件结构,金、银、铝三种电极对器件性能影响不大,所以一般会用便宜的银或铝。
而钙钛矿体系,如果做Spiro传输层的话,通常需要用金电极与之匹配,组里购买的金靶材主要是给钙钛矿体系使用。
“理想中是要达到0.2埃每秒的速率再蒸镀,但在具体的实验过程中,也要灵活变通嘛,现在0.10埃每秒条件已经稳定了,如果强行追寻0.2埃每秒的预期条件,如果一个控制不好,可能直接就变闪蒸了。”许秋解释道:
“蒸镀金没有回头路可走,因为材料有限,一旦速率上去了,不可能再等速率回落,因为那时候金靶材可能已经消耗完了,所以只能硬着头皮蒸完。”
“原来如此。”莫文琳点点头。
许秋不断调控电流,让蒸镀速率保持在0.1-0.2埃每秒。
一分多钟后,膜厚仪显示的数值终于从9埃跳动成为10埃,许秋立刻关闭样品挡板,然后缓慢降低蒸镀电流,直至其数值降低为0。
金膜蒸镀完成,许秋终于放下心来,他倒不担心金会不够用,因为之前已经在模拟实验室中实验过了,主要是怕出现蒸镀速率不受控制等意外事件。
接着,许秋将电流输出端调至银靶材的回路,并在膜厚仪中设置为银的参数。
银电极蒸镀的难度比较小,因为加的靶材量足够多,也不用怕蒸镀速率过高的问题,大不了直接把电流降回来,重新升温就是了。
这一步没有出现什么意外,许秋顺利的以0.1-0.2埃每秒的速率蒸镀好了银电极,随后偏头问道:“莫文琳,你学废了嘛?”
“学废了,学废了。”莫文琳思考片刻,回应道:“电流要缓慢提升,蒸镀速率要稳定在0.1-0.2埃每秒,在金靶材的蒸镀时要一次性蒸镀完成。”