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328 第一次,没什么经验(求订阅)(3 / 3)

第一步,需要将整个样品台卸下来。

许秋观察了一番,发现样品台依靠三个螺母被固定在蒸镀舱的最上方。

他先将样品台上的样品支架取下,减轻样品台的重量,随后找了找手套箱中的工具篓,但是并没有找到扳手之类的大型工具,便打算直接用手把三个螺丝给拧下来。

上手之后,他发现这个样品台安装好之后一直没有更换过掩膜版,螺丝非常的紧。

许秋只能大力出奇迹,口中发出“嗯——”、“嗯——”的怪叫声用来蓄力,引得莫文琳和韩嘉莹侧目连连。

好不容易把三个螺丝卸了下来,连带着还有6个垫片。

许秋把它们小心的放在一个用封箱带围成的小空间内,防止遗失。

随后,他开始检查样品台。

样品台是三层的夹心结构,上层用来放样品支架,中间夹着掩膜版,下层就是一个中空的方形支架,用来固定掩膜版。

固定掩膜版的位置还有四个六角螺丝,许秋试了试,这回固定的非常紧,直接用手拆不下来,需要用六角螺丝刀。

他在工具篓中翻了翻,发现了几个不同尺寸的六角螺丝刀,就是那种外部圆柱形,内部中空六边形的样式,在试了几种型号后,许秋找到了合适的那个。

有了工具,这回拆卸起来容易多了,许秋小心的把卸下来的四个六角螺丝和之前的几个螺母、垫片放在一起。

“人与动物之间最主要的区别就是会不会使用工具,古人诚不欺我啊。”内心吐槽了一句,许秋开始更换掩膜版。

原来的掩膜版,在遮挡处已经被镀上了不知多少层的金属材料,现在看上去是银光闪闪的,应该是上周五蒸镀时用的银电极。

许秋将新的掩膜版换上,重新用四个六角螺丝固定,并记住了图案的方向。

基片是正方形的,如果暂时忽略对称性的话,在安放至样品支架上时,一共有四种方向可以摆放。

之前从漂亮国进口的ITO基片的图案,旋转180度可以重合,因此,四个方向中两个方向是正确的摆放方向。

龚远江他们的风车状ITO图案,旋转90度即可重合,因此,四个方向可以随意摆放,都不影响最后蒸镀的结果,除非,把基片的正反面弄反了……

而现在这种地球仪形式的ITO图案,要旋转360度,才能重合,也就是说四个方向中只有一个方向是正确的,如果方向不对,蒸镀出来的器件就是失败的。

想把新的掩膜版安装上去,还是有些难的,因为必须要对的非常准确才行,假如这边偏差0.1厘米,蒸镀出来的金属电极同样会偏移0.1厘米,假如这边安装歪了,蒸镀出来的金属电极也将是歪的……

光是对准位置,许秋就花费了五分钟。

主要是他第一次,没什么经验。

PS:继续四章万更。

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